2026年春天，阿斯麥爾的高數值孔徑EUV設備已經在英特爾和三星的產線上調試，瞄準的是2納米以下製程。而上海微電子那臺28納米的DUV機器還在實驗室裏反覆跑數據。兩者之間橫亙的不是一條技術鴻溝，而是一整個被自己親手掐斷的時代。
很多分析文章一講到光刻機，就喜歡從1965年那臺＂65型接觸式光刻機＂說起，感慨我們只比美國晚了四年。五六十年代搞半導體，驅動力是核武器的計算需求。換句話說，那時候光刻技術的推進，背後站的是整個國防體系的意志，資源是不計代價往裏灌的。
我想把視角拉遠一點，不光盯着光刻機本身。八十年代＂造不如買＂這股風，颳倒的不是一棵樹，是一片林子。運10大飛機停了，結果四十年後C919才實現商飛，中間那幾十年我們給波音和空客送了多少錢？軍用領域更慘，遠程轟炸機、武裝直升機、大型驅逐艦，一口氣砍掉90個國防科研項目。有些項目當時已經能看到樣機了，說停就停。每一個被砍掉的項目，背後都是成百上千人十幾年的心血歸零。
但光刻機的損失比這些都深遠，因爲它卡的是整個信息產業的命門。它是信息時代的石油和鋼鐵加在一起。
有一個細節值得深挖：1985年我們做出了分步式光刻機，技術參數跟美國基本對齊，就晚了七年。同一年阿斯麥爾纔剛從飛利浦的一間小廠房裏獨立出來，賬上的錢連發三個月工資都夠嗆。但阿斯麥爾做對了一件我們沒做的事——它從第一天起就在搭建供應鏈生態。蔡司給它做鏡頭，後來Cymer給它做光源，再後來Trumpf接手了更先進的EUV光源。整條鏈上每一個節點都在同步迭代，咬合得像瑞士鐘錶。
這裏必須說一個被很多人忽視的問題：光刻機的競爭，本質上不是一臺機器的競爭，是一整套工業體系的競爭。一臺EUV光刻機裏有超過十萬個零部件，涉及幾十個國家的上百家供應商。蔡司打磨那面鏡子的精度，相當於把一個足球場磨平到誤差不超過一根頭髮絲的千分之一。這種東西，不是你撥筆經費、建個實驗室就能追上的。它需要幾十年不間斷的工藝積累，需要一代人甚至兩代人把手藝傳下去。
那爲什麼韓國人能追上來？三星在半導體上砸錢，是從七十年代末就開始的。早期虧得一塌糊塗，內部反對聲不斷。幾十年下來，硬是在存儲芯片和代工兩條線上都站住了腳。臺灣地區的臺積電更是一個經典案例——張忠謀1987年創辦臺積電時已經56歲，拿的是臺當局的啓動資金加上飛利浦的技術入股，起點並不高。但人家認準了＂純代工＂這條路，三十多年沒動搖過。
反過來看我們，八十年代選擇了買，九十年代和兩千年代也沒真正回頭。中間有過幾次零星的努力，比如＂909工程＂上馬了華虹，但那更多是衝着量產芯片去的，光刻機這種最上游的設備始終沒被當成戰略重心。等到2018年中興被美國一紙禁令打趴下，整個國家纔像被扇了一巴掌似的驚醒過來。
這一巴掌扇得不輕。2019年華爲被列入實體清單，臺積電被迫斷供。2020年開始美國逼着荷蘭限制阿斯麥爾向中國出口EUV設備。2023年管控升級到DUV，連成熟製程的設備都開始卡。2024年日本也被拉進來，東京電子和尼康的出口許可收得越來越緊。到2025年底，針對人工智能芯片的新一輪禁令落地，連雲端推理用的中端芯片都被划進了管控範圍。2026年初，又傳出美方正在研究對半導體設備維保服務實施限制——這意思是，就算你以前買了機器，以後零件壞了可能都沒人給你修。
這一系列操作的邏輯鏈條非常清晰：不是要你慢一拍，是要你永遠追不上來。它打擊的不只是某一款產品，而是你進入先進製程的全部可能性。
我有一個比較冷門但關鍵的觀察：光刻機的制裁之所以掐得這麼準，恰恰是因爲這個領域的全球供應鏈高度集中。EUV光刻機全球只有阿斯麥爾一家能造，極紫外光源主要靠Trumpf，高端光刻膠基本被日本的JSR和東京應化壟斷。這不是什麼自由市場自然形成的格局，背後有大量的政府補貼、聯合研發項目和專利交叉授權。美國能用一紙行政令卡住全球半導體設備的流向，根本原因就是這套體系的關鍵節點全在它和盟友手裏。你造不如買，買到的東西永遠帶着一根隱形的繩子。
所以我的看法跟一些樂觀派不太一樣，有人覺得現在錢砸夠了、政策到位了，十年內一定能突破。我認爲EUV這件事，十年能不能拿出實驗室級別的原型機都是個問號。半導體物理定律不認你的制度優勢，也不認你的市場規模。
